1200C Uch isitish zonasi PECVD tizimi
1200C Uch isitish zonasi PECVD tizimi

1200C Uch isitish zonasi PECVD tizimi

SK2-CVD-12TPB4 - bu PECVD tizimi uchun quvurli pech bo'lib, u 300 Vt yoki 500 Vt chastotali quvvat manbai, ko'p kanalli nozik oqim tizimi, vakuum tizimi va quvurli pechdan iborat. Tez-tez ishlatiladigan harorat 1100 daraja Selsiy yoki undan past bo'lib, uning asosiy xarakteristikalari past cho'kma harorati, tez tezligi, yaxshi kino sifati, kamroq teshiklar va yorilishga kamroq moyil. CVD usuli yordamida nanosimlarni etishtirish yoki turli yupqa plyonkalarni tayyorlash uchun ideal qurilma.
So'rov yuborish
Xususiyat

 

● Maksimal harorat RT-1200 daraja

● Split turdagi o'choq, siz pechni ochishingiz mumkin.

● Signalni kuchaytirish uchun mexanik nasos va 500 Vt chastotali quvvat manbai yordamida vakuum darajasi 10Pa bo'lgan 2 dan ortiq gaz kanalini kiritishi mumkin.

● Yuqori sifatli alumina keramik tolali izolyatsiyalash materiallari

● Haroratni nazorat qilishning aniqligi ± 1 daraja

● Haddan tashqari harorat signalizatsiyasi funksiyasi bilan

● Sovutish foniy korpusining haroratini pasaytirishi mumkin

 

Model

SK2-CVD-12TPB4

Olchamlari: standart isitish zonasi uzunligi (mm)

440 mm

Olchamlari: Standart quvur diametri (mm)

∮60 mm

Maksimal harorat

1200 daraja, doimiy ish harorati 1100 daraja.

Voltaj (V)

220 1P

Termojuft turi

K

Isitish elementi

HRE qotishma qarshilik simi

Temp.Aniqlik

±1 daraja

Isitish tezligi

0-30 daraja/min bepul sozlash

Palata materiali

Yuqori sifatli alumina mikrokristalli tolali materialdan foydalanish

Pechning tuzilishi

Ikki qavatli havo sovutgichli struktura, sirt harorati 60 darajadan past

Harorat sozlagichi

Intelligent PID haroratni nazorat qilish asbobi, 30 ta dastur segmenti, SSR nazorati, PID parametrini o'z-o'zini sozlash funktsiyasi; dastur haroratini ko'tarish, dastur issiqlikni saqlash, dasturni sovutish

500 Vt chastotali quvvat manbai

Chiqish quvvati: 5-500Vt ±1 daraja

RF chastotasi: 13,56 MGts ±0,005%

Ko'zgu quvvati: 100 Vtgacha

Moslik: Avtomatik

RF interfeysi: 50Ō, N-turi

Sovutish: havo sovutish

Quvvat manbai: AC 208-240V, 50/60Hz

4 gaz kanalli nozik oqim tizimi

1. To'liq o'lchovdagi oqim tezligi (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10L/min.

2. Valf turi: Solenold klapan.

3. Vana dam olish holati: Odatda yopiq.

4. Differensial bosim: (50-300)kpa

5. Bosimga qarshilik: 3mpa.

6. Ishlash harorati: 5-45 daraja

7. Materiallar: zanglamaydigan po'latdan 316L.

Vakuum tizimi

5*% 7b{1}}Pa

KF25 tez ulanishi, zanglamaydigan po'latdan yasalgan pufakchalar, qo'lda klapan va gardish, vakuum pompasi

Yuqori vakuum tizimlari ixtiyoriy ravishda jihozlanishi mumkin.

image001

Xush kelibsiz OEM/ODM

 

Standart aksessuarlar

 

Termal qo'lqoplar|Tigel kancasi|Termojuft|Quvur bloki|Foydalanuvchi uchun qo'llanma |Asboblar|Vakuum pompasi| Kvarts trubkasi |Flanj |Muhlamali halqa |10 mm gaz shlangi |Flanj tayanchi, Gaz tizimi, RF quvvati.

 

Ixtiyoriy

 

Siz tanlaganingiz uchun turli xil isitish zonasi;

Tanlash uchun LCD sensorli ekran boshqaruvi

Tanlash uchun kompyuterni ulash uchun RS485/USB porti.

 

CVD-PECVD uchun batafsil rasm

 

image003
500 Vt chastotali quvvat manbai
image005
Vakuum tizimi
image007
4 gaz kanalli nozik oqim tizimi

 

Ilova

 

Ushbu qurilma asosan nanosimlarni o'stirish yoki CVD usuli yordamida turli xil nozik plyonka o'sishini tayyorlash uchun ishlatiladi.

 

Kafolat

 

Bir yillik kafolat va umrbod texnik yordam

Maxsus maslahatlar:

1. Isitish elementi, kvarts trubkasi, namunali tigel va boshqalar kabi sarf materiallari kafolat muddati ichida emas.

2. Korroziy gaz va kislotali gazdan foydalanish natijasida etkazilgan zarar kafolatga kirmaydi.

 

Issiq teglar: 1200c uchta isitish zonasi pecvd tizimi, Xitoy 1200c uchta isitish zonasi pecvd tizimi ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari