Xususiyat
● Maksimal harorat RT-1200 daraja
● Split turdagi o'choq, siz pechni ochishingiz mumkin.
● Signalni kuchaytirish uchun mexanik nasos va 500 Vt chastotali quvvat manbai yordamida vakuum darajasi 10Pa bo'lgan 2 dan ortiq gaz kanalini kiritishi mumkin.
● Yuqori sifatli alumina keramik tolali izolyatsiyalash materiallari
● Haroratni nazorat qilishning aniqligi ± 1 daraja
● Haddan tashqari harorat signalizatsiyasi funksiyasi bilan
● Sovutish foniy korpusining haroratini pasaytirishi mumkin
|
Model |
SK2-CVD-12TPB4 |
|
Olchamlari: standart isitish zonasi uzunligi (mm) |
440 mm |
|
Olchamlari: Standart quvur diametri (mm) |
∮60 mm |
|
Maksimal harorat |
1200 daraja, doimiy ish harorati 1100 daraja. |
|
Voltaj (V) |
220 1P |
|
Termojuft turi |
K |
|
Isitish elementi |
HRE qotishma qarshilik simi |
|
Temp.Aniqlik |
±1 daraja |
|
Isitish tezligi |
0-30 daraja/min bepul sozlash |
|
Palata materiali |
Yuqori sifatli alumina mikrokristalli tolali materialdan foydalanish |
|
Pechning tuzilishi |
Ikki qavatli havo sovutgichli struktura, sirt harorati 60 darajadan past |
|
Harorat sozlagichi |
Intelligent PID haroratni nazorat qilish asbobi, 30 ta dastur segmenti, SSR nazorati, PID parametrini o'z-o'zini sozlash funktsiyasi; dastur haroratini ko'tarish, dastur issiqlikni saqlash, dasturni sovutish |
|
500 Vt chastotali quvvat manbai |
Chiqish quvvati: 5-500Vt ±1 daraja RF chastotasi: 13,56 MGts ±0,005% Ko'zgu quvvati: 100 Vtgacha Moslik: Avtomatik RF interfeysi: 50Ō, N-turi Sovutish: havo sovutish Quvvat manbai: AC 208-240V, 50/60Hz |
|
4 gaz kanalli nozik oqim tizimi |
1. To'liq o'lchovdagi oqim tezligi (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10L/min. 2. Valf turi: Solenold klapan. 3. Vana dam olish holati: Odatda yopiq. 4. Differensial bosim: (50-300)kpa 5. Bosimga qarshilik: 3mpa. 6. Ishlash harorati: 5-45 daraja 7. Materiallar: zanglamaydigan po'latdan 316L. |
|
Vakuum tizimi |
5*% 7b{1}}Pa KF25 tez ulanishi, zanglamaydigan po'latdan yasalgan pufakchalar, qo'lda klapan va gardish, vakuum pompasi Yuqori vakuum tizimlari ixtiyoriy ravishda jihozlanishi mumkin.
|
|
Xush kelibsiz OEM/ODM |
|
Standart aksessuarlar
Termal qo'lqoplar|Tigel kancasi|Termojuft|Quvur bloki|Foydalanuvchi uchun qo'llanma |Asboblar|Vakuum pompasi| Kvarts trubkasi |Flanj |Muhlamali halqa |10 mm gaz shlangi |Flanj tayanchi, Gaz tizimi, RF quvvati.
Ixtiyoriy
Siz tanlaganingiz uchun turli xil isitish zonasi;
Tanlash uchun LCD sensorli ekran boshqaruvi
Tanlash uchun kompyuterni ulash uchun RS485/USB porti.
CVD-PECVD uchun batafsil rasm



Ilova
Ushbu qurilma asosan nanosimlarni o'stirish yoki CVD usuli yordamida turli xil nozik plyonka o'sishini tayyorlash uchun ishlatiladi.
Kafolat
Bir yillik kafolat va umrbod texnik yordam
Maxsus maslahatlar:
1. Isitish elementi, kvarts trubkasi, namunali tigel va boshqalar kabi sarf materiallari kafolat muddati ichida emas.
2. Korroziy gaz va kislotali gazdan foydalanish natijasida etkazilgan zarar kafolatga kirmaydi.
Issiq teglar: 1200c uchta isitish zonasi pecvd tizimi, Xitoy 1200c uchta isitish zonasi pecvd tizimi ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari





