CVD quvurli pech (Kimyoviy bugʻ choʻkmasi)-toʻliq kimyoviy bugʻni choʻktirish trubkasi pechi- nomi bilan tanilgan, bu materialshunoslik va muhandislik sohalarida keng qoʻllaniladigan termal ishlov berish uskunasining bir turi. Uning asosiy qo'llanilishi va funktsiyalari quyidagilarni o'z ichiga oladi:
Materialning o'sishi va cho'kishi:
Pechga gaz aralashmasini kiritish orqali CVD trubkasi pechkasi yuqori haroratlarda gazlarning parchalanishini osonlashtiradi. Keyin hosil bo'lgan atomlar yoki molekulalar qattiq substrat ustiga cho'kadi va shu bilan yupqa plyonkalar, nanopartikullar va boshqa ilg'or materiallarni ishlab chiqarish imkonini beradi.
Termal ishlov berish:
Materialni cho'ktirishga qo'shimcha ravishda, CVD trubkasi o'chog'i-changni kalsinlash, keramik sinterlash, yuqori{1}}haroratda tajriba o'tkazish va materiallarni umumiy qayta ishlash- kabi turli xil termal ishlov berish uchun, jumladan, keramika, metallar, elektronika, shisha, kimyoviy moddalar, o'tga chidamli qurilish materiallari va maxsus qurilish materiallari uchun ishlatilishi mumkin.
Yupqa plyonka tayyorlash:
Bu metall plyonkalar, yarim o'tkazgich plyonkalar, optik plyonkalar va shunga o'xshash materiallarni tayyorlashni o'z ichiga oladi. Reaksiya sharoitlarini va materiallar ta'minotini aniq nazorat qilish orqali o'ziga xos xususiyat va tuzilishga ega bo'lgan nozik-plenkali materiallarni olish mumkin.
Nanomateryal tayyorlash:
Pech nanozarrachalar va nanosimlar kabi nanomateriallarni ishlab chiqarish imkonini beradi. Reaktsiya parametrlari va substrat materiallarini sozlash orqali turli morfologiya va o'lchamlarga ega nanomateriallarni sintez qilish mumkin.
Yarimo'tkazgich sanoatida qo'llanilishi:
Yarimo'tkazgich sanoatida,CVD quvurli pechlaryupqa plyonkalarni joylashtirish, gofretni tozalash va sirtni tozalash kabi-muhim jarayonlarda hal qiluvchi rol o'ynaydi.
Chang metallurgiyasi:
Uskuna chang metallurgiya sohasida qoʻllaniladi, bu yerda gaz fazali reaksiyalar-boʻyicha metall yoki keramik materiallar hosil boʻlishini osonlashtiradi.
Optik materiallarni tayyorlash:
Bu shaffof optik materiallarni sintez qilish imkonini beradi, keyinchalik ular optik qurilmalar, optik qoplamalar va shunga o'xshash komponentlarni ishlab chiqarishda qo'llaniladi.
Strukturaviy dizayn:
CVD quvurli pechning o'choq korpusi odatda ikki-qobiqli tuzilishga ega.
Ichki va tashqi qobiqlar orasidagi bo'shliqda tez isitish va sovutish davrlarini osonlashtirish va o'choq qobig'ining sirt harorati past bo'lishini ta'minlash uchun sovutish foniy o'rnatilgan.
Olovli trubaning o'zi odatda yuqori-tozalikdagi materiallardan (masalan, yuqori-tozalikdagi korund) qurilgan.
Naychaning har ikki uchi ham yuqori vakuumli zanglamaydigan po'latdan yasalgan troyniklar yordamida yopilgan, bu gazning o'tkazmasligi va yuqori haroratga chidamliligi-ta'minlanadi.
Harorat va atmosfera nazorati:
Tizim turli materiallar va qayta ishlash protokollarining o'ziga xos talablariga javob berish uchun pech ichidagi ichki haroratni ham, atmosfera tarkibini ham aniq nazorat qilish imkoniyatiga ega.
U turli xil himoya muhitlari bilan bog'liq bo'lgan maxsus texnologik talablarni qondirish uchun gaz oqimini aniq nazorat qilish tizimi (masalan, qo'lda suzuvchi oqim o'lchagichlar yoki yuqori-aniqlikdagi massa oqimini regulyatorlari) bilan jihozlangan. Yuqori samaradorlik va energiya tejash:
Energiyadan foydalanish samaradorligini oshirish uchun yuqori-samarador, energiyani tejovchi{1}}o‘choq qoplama materiallaridan (masalan, polikristalli alumina tolalari) foydalanadi.